分类：高真空系统

VS高真空系统-南京博蕴通

VS高真空系统-南京博蕴通

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VS高真空系统详细介绍：
VS高真空系统，型号为FJ-620分子泵机组， FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计），控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
FJ-620分子泵机组技术性能：

产品型号 FJ-620
进气口法兰 DN160LF DN160CF
抽气速率L/S（对空气） 600
压缩比    N2

H2

＞109

6×103
建议启动压强 ＜100 Pa
极限压强（Pa） 6×10-6 6×10-7
排气口法兰 KF25/KF40
使用轴承 精密机械轴承
输入电压频率（V/Hz） 380±20/50
环境温度（℃） 0～40
前级泵型号 RVP-6
额定工作转数（rpm） 42，300
冷却方式 水冷
冷却水压力（MPa） 0.1-0.2
冷却水温度（℃） <25
安装方式 任意
重量（公斤） 52
长×宽×高 730×520×700
重量 117
恒压控制系统-合肥科晶

恒压控制系统-合肥科晶

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恒压控制系统详细介绍：
恒压控制系统，型号为GZK-PID-103G是一款高真空恒压控制系统，内部含一高真空国产分子泵机组（机械泵VRD-24以及分子泵FF100/110），两种工作状态可进行切换：分子泵工作模式：可启动分子泵机组，从而实现体系的高真空状态。
恒压工作模式：待分子泵停止工作后，通过PID控制机械真空泵的转速来控制抽气速率，进而获得对腔室内压力的精密测量和恒压控制，可与我公司的管式炉、镀膜仪等设备结合，实现PVD、CVD、PECVD以及HPCVD等工艺中压力恒定的精确控制。本系统广泛应用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器中。
【详细参数】

产品特点 • 含一高真空分子泵机组：机械泵VRD-24（抽速6.6L/s）以及分子泵FF100/110（抽速110L/S）
• 两种工作状态可进行切换：分子泵工作模式以及恒压工作模式
• PLC触摸屏控制，触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷
• 恒压工作模式下：可通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率，使抽气速率与进气量、漏气率相匹配，从而达到精确的恒压控制
输入电源 • 208-240VAC, 单相, 50/60Hz
• 功率为1200W
真空测量单元 • 型号：PGC-554-LD
• 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr
• 精度：
3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50
7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15
75 … 713 torr(N2) % of reading ±5
713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5
真空泵系统 • 机械泵型号：VRD-24
抽速：6.6L/S
工作环境温度：5-40℃
噪音：≦58 dB
• 分子泵型号：FF100/110
抽速：110L/S
极限压强：≦4.5*10-7 torr（不带负载）
启动压强：<  0.75 torr
额定转速：42300 rpm
• 与腔室连接接口尺寸：KF40
压力恒定控制系统 • 压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)：
760mtorr（100Pa）—–225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm）
600mtorr（80Pa）—–200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm）
300mtorr（40Pa）—–185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm）
180mtorr（24Pa）—–100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm）
• 压力恒定控制精度：180mtorr—–2.5torr（±%10）
＞2.5torr—–10torr（±%40）
＞10 torr——200torr（±%5）
外型尺寸 • 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
产品重量 • ~80kg
质保期 • 一年质保期，终身维护
 应用 • 此系统配套上相应的不锈钢密封法兰系统可以和本公司的真空管式炉、CVD、PECVD和HPCVD系统相连接，实现气氛的恒压控制。
• 此系统与本公司磁控溅射仪等镀膜设备匹配使用，可实现反应磁控溅射的气氛恒压控制。
高真空系统GZK-103G-L-合肥科晶

高真空系统GZK-103G-L-合肥科晶

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高真空系统GZK-103G-L详细介绍:
高真空系统GZK-103G-L是一款抽速可达700L/s的国产分子泵真空系统，通过复合真空计和分子泵控制器显示真空度及各项工作状态，操作简单方便。它主要由真空室，阀门及真空连接管道，F-160/700分子泵，VRD-48机械泵，真空测量系统，电器控制系统构成。通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料。
【技术参数】

基本参数 • 工作电电压：AC380V±10% 50~60HZ

• 功率：2.5KW

• 工作环境温度5~32℃

• 空气相对湿度≤80%

• 系统极限真空度：5.5* 10-5Pa

• 外型尺寸：1000*600*1550mm
主要配置 技术指标性能
1、前级机械泵 • 型号：VRD-48

• 抽气口接口尺寸：KF40

• 抽气速率：（48m3/h）13.3L/S

• 电机功率：1500 W   极限压强4×10-2 Pa
2、分子泵 • 型号：FF-160/700

• 抽气速率：700L/S

• 极限压强：6×10-7 Pa

• 启动时间：＜4min

• 额定转速：36000转/分

• 冷却方式:：风冷/水冷

• 抽气口接口尺寸：CF160
3、分子泵控制电源 • 电压：AC 200~240V；  输出功率：750W

• 加速时间：5分钟

• 输出频率：0.0—-1300HZ
4、ZDF-Ⅲ复合真空计 • 工作电电压：220V 50~60HZ

• 电阻规阻值：约85欧

• 自动保护（电离）>10Pa

• 电离规管测量范围：100~10-5Pa

• 电阻规管测量范围：105 ～ 10-1 pa
5、CF80高真空手动插板阀 • 采用CF80无氧铜密封，CF刀口密封法兰
6、连接管路 • 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1*10-9Pa.m3/s
7、接口尺寸 • 系统抽气接口尺寸：KF63

• 标配一个KF63转KF40变径头
真空度 • 可与各管式炉等加热设备等连接使用

（以GSL-1100X-III φ280mm管为例）

• 真空度：

4.0X10-4Pa（抽1h）

2.0X10-4Pa（抽2h）

1.0X10-4Pa（抽3h）

8.9X10-5Pa（抽4h）

5.5X10-5Pa（抽12h）
高真空机组GZK-103D(爱德华分子泵）-合肥科晶

高真空机组GZK-103D(爱德华分子泵）-合肥科晶

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高真空机组GZK-103D(爱德华分子泵）详细介绍：
英国著名的Edward vacuum pump（由隔膜泵和斡旋分子泵组成），被安装在一移动壳体中（壳体上可以放高温炉）。系统包括了1200mm的KF40波纹管，LCD显示屏。仪器不必另行安装，可直接开箱使用，真空范围为1E-3 到1E-7 mbar 。600mm x 600m的移动壳体顶部可以承受600 Lbs。
【详细参数】

移动架壳体
  • 移动壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • 最大承重量:   150kg
  • 分子泵控制面板:   LCD 数字显示
  • 内部含有英国制造的 Edward vacuum pump
控制面板
  • 一键操作：按下”start” 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动）
  • 系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制泵旋片的旋转速率
抽气速率 ·N2  42L/s

·He  49L/s

·H2  45L/s
极限压力 <1E-7 mbar (配和科晶公司的管式炉使用可达到1E-5mbar )
启动时间 2 Min.
工作范围 1000 mbar 到<1E-7 mbar
持续/最大功率 100/110 W
输入电压  185-265V
质量认证 CE
高真空系统GZK-103G-合肥科晶

高真空系统GZK-103G-合肥科晶

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高真空系统–GZK-103G详细介绍：
高真空系统–GZK-103G是一款高度自动化的国产分子泵真空系统，通过触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷。它主要由真空室，阀门及真空连接管道，F-100/110分子泵，RVP-4机械泵，真空测量系统，电器控制系统构成。通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料。
【技术参数】

基本参数 · 工作电电压：220V±10%  50~60HZ

· 功率：1KW

· 工作环境温度5~32℃

· 空气相对湿度≤80%

· 系统极限真空度：1.0 * 10-4Pa

· 外形尺寸：600 * 600 * 750mm
抽气速率 · N2   33 L/s

· He   39 L/s

· H2    32 L/s
主要配置 技术指标性能
1、RVP-4机械泵 · 抽气速率：3L/S

· 电机功率：400W  极限压强6*10-2Pa
2、F-100/110分子泵 · 抽气速率：100L/S

· 极限压强：6*10-6Pa

· 启动时间：＜2min

· 额定转速：42300转/分

· 冷却方式:：风冷/水冷
3、分子泵控制电源 · 电压：200~240V；  输出功率：150W

· 加速时间：3分钟

· 输出频率：高速704Hz±10%，低速430 Hz±10%
4、ZDF-Ⅲ复合真空计 · 工作电电压：220V  50~60HZ

· 电阻规阻值：约85欧

· 自动保护（电离）>10Pa

· 电离规管测量范围：100~10-5Pa

· 电阻规管测量范围：105 ～ 10-1 pa
5、KF40高真空手动隔断阀 · 采用氟胶圈密封，快卸法兰接口

· 漏率达5*10-9 Pam3/s

6、连接管路

 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1*10-9Pa.m3/s
质保期 一年质保期，终身维护
净重 约60Kg
注意 · 使用前请仔细阅读说明书，防止操作不当将导致仪器损坏。

· 真空泵不可以抽腐蚀性或爆炸性气体。

· 真空泵不可以抽冷凝蒸气。

· 真空泵不可以抽液体。

· 真空泵不可以抽粉尘。

· 真空泵不可以抽高温气体。

· 请不要在潜在的爆炸区域进行操作。

· 为了保护环境和人体健康，请使用尾气过滤器，以尽量减少排放污染物。

· 为保护真空泵免受冷凝蒸气或小颗粒的损坏，请将冷阱或微粒捕集器连接到泵的前级管上
进口无油真空泵226L/m-合肥科晶

进口无油真空泵226L/m-合肥科晶

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进口无油真空泵226L/m详细介绍：
进口无油真空泵226L/m，型号为：ACP15，是一款无油真空泵，其抽速为226L/min.因为泵内无油所以在真空状态下无油雾产生，从而为实验提供了一个洁净的低压环境。特别适合于本公司管式炉配合使用，组成低压CVD系统。

【技术参数】

泵的抽速 3.7L/S
极限真空度
  • 2.2×10^-2 torr
  • 极限真空度会因真空腔体的尺寸不同而不一样
使用环境温度 12 – 40  ºC
接口
  • 进气端接口：KF25
  • 出气端接口：KF16
电源 110-240VAC，50/60Hz
质量 23Kg
产品尺寸 514 x 190 x 270mm
质保期 一年