多通道质子流量计控制系统详细介绍：
多通道质子流量计控制系统，型号为GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6″的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
【详细参数】

功能	双通道	三通道	四通道	五通道
质子流量控制器	工作温度：5~45ºC 最大压力:3×106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用	工作温度：5~45 ºC 最大压力: 3×106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用	工作温度: 5~45 ºC 最大压力:3×106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用	工作温度: 5~45 ºC 最大压力: 3×106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客户要求定制
输入电源	AC 220V/50Hz单相
功率	23W
PLC触摸屏	各通道的气路设定和查看都集中在一6″的触摸屏上  RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
机械压力表	有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
针阀	316 不锈钢
通气管道	内部连接管道为1/4”不锈钢管 外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐	Φ80X120mm
截止阀及配件	316不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
质量认证	CE认证
质保期	一年质保期，终身维护

防腐型3路浮子混气系统详细介绍：
防腐型3路浮子混气系统，型号为GSL-3F-PTFE是一款三通道防腐蚀型混气系统，气体通过的所有部分全部都是由聚四氟乙烯材料制作（阀、管道、混气罐和浮子流量计），此款设备设计专门针对于需要通入腐蚀性气体（如H2S、H2Se）的CVD实验。
【详细参数】

名称	防腐型3路浮子混气系统GSL-3F-SS-PTFE
浮子流量计	三个由聚四氟乙烯制作的浮子流量计 ·A：10 – 100mL/min ·B：16 – 160mL/min ·C：25 – 250mL/min
针阀	三个由聚四氟乙烯材料制成的针阀，用来控制前面板 上的气体输入、输出。
混气罐	·一个1000ml的聚四氟乙烯罐安装在壳体内部 ·每路气体可通入混气罐中进行混气
接头和气管	·聚四氟乙烯管，并可兼容1/4英寸管（尼龙或不锈钢） ·在混气系统右侧安装三个气体进口 ·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管（请参考说明书， 也可另行定制，详情请咨询销售） ·两个出口（可连接科晶管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体） ·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
真空针阀	·采用ss304不锈钢 ·安装在混气系统的右侧
安装带刹车的转向轮	外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
可选	如果您的CVD实验涉及腐蚀性气体，如硫化氢，您可选购我公司聚四氟乙烯法兰
净重	约75 Kg
质保期	一年保修， 终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐 蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

4路质子流量计混气系统详细介绍：
【技术参数】
气路通道： 4
气路流量控制：质子流量控制器。
接 口： Φ6
显 示： LED
工作环境温度: 5~45℃
流量控制器： 质子流量控制器
四氟管：Φ6外XΦ4内
压力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6

【特点】
1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到混气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

3路质子流量计供气系统详细介绍：

【特点】

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到混气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

【技术参数】

气路通道： 3

气路流量控制：质子流量控制器。

接口： Φ6

显示： LED

工作环境温度: 5~45℃

流量控制器： 质子流量控制器（详细技术参数请查看后面）

四氟管：Φ6外XΦ4内

压力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

注意：供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。

2路质子流量计混气系统详细介绍：

【特点】

1．2路质子流量计混气系统气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

【技术参数】

★ 气路通道：2

★ 气路流量控制：质子流量控制器。

★ 接口： Φ6

★ 显示： LED

★ 工作环境温度: 5~45℃

★ 流量控制器：质子流量控制器

★ 四氟管：Φ6外XΦ4内

★ 压力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

★ 截止阀：Φ6

★ 质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞

【注意】

供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。

【供气系统的配置】

1、质子流量计：2个

2、压力表：1个

3、截止阀门：3个

4、穿板接头：3个

5、阀门接头：2个

6、钢瓶接头: 2个

7、聚四氟乙烯管：10M

8、混气罐：1个

9、炉架：1台

【主要指标】

★ 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（可以任意选择量程）

★ 准确度：±1.5% F.S

★ 线性：±0.5～1.5% F.S

★ 重复精度：±0.2% F.S

★ 响应时间：10S

★ 气压降：<0.01MPa

★ 最大压力：3MP

★ 工作环境温度：5～45℃

★ 输入输出信号：0～+5.00V

★ 电源：+15V 50mA ；-15V 50mA

★ 外形尺寸：158*30*110

混气系统3路浮子详细介绍：
混气系统3路浮子这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
【技术参数】

名称	混气系统3路浮子GSL-3F
浮子流量计	三种不同量程的浮子流量计，控制精度4% ·A：10 – 100mL/min ·B：16 – 160mL/min ·C：25 – 250mL/min
机械压力表（混气罐）	·-0.1-0.15 Mpa
接头和气管	·在混气系统右侧安装三个气体进口 ·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管（请参考说明书，也可另行定制，详情请咨询销售） ·两个出口（可连接科晶管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体） ·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
真空针阀	·采用ss304不锈钢 ·安装在混气系统的右侧
外型尺寸	600 mm L x 600 mm W x 650 mm H（安装带刹车的转向轮）
净重	约75kg

小型二通道混气系统（质子流量计）详细介绍：
小型二通道混气系统是一款小型的两通道质子流量计混气系统，其型号为：GSL-2Z-LCD-S。PLC触摸屏控制各通道气路流量，并可实时查看流量数据及曲线，可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用，实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
【详细参数】

基本参数	• 工作温度：5~45ºC • 最大压力:0.3MPa • 精度: ±1.5% FS • 重复精度: ±0.2%F.S. • 流量范围: 一路：1-99   SCCM 二路：1-199  SCCM  （其他流量范围可定制） • 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
输入电源	• AC 220V，50/60Hz
功率	• 100W
PLC触摸屏	• 各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上
混气罐	• 内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
机械压力表	• 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 • 量程:-0.1~0.15 MPa
针阀	• 316 不锈钢
通气管道	• 内部连接管道为1/4”不锈钢管 • 外部通气管道为1/4”聚四氟管
外形尺寸	• 360 mm L x 300 D mm x 190 H mm
产品重量	• 8.4kg

混气系统2路浮子–CGM-2F详细介绍：
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。

【具体参数】

名称	小型双通道浮子混气系统–CGM-2F
浮子流量计	两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min
混气罐	内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
机械压力表（混气罐）	-0.1-0.15 MPa
关键和阀门	·采用ss304不锈钢 ·三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢）
外形尺寸	340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
可选	·CVD或者PECVD ·液相气体发生器 ·1200℃微型二通道混气CVD系统–OTF-1200X-S50-2F ·Plasma等离子清洗
净重	约10 Kg