微型PECVD系统详细介绍：
这款小型PECVD，其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
【等离子源】
等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
输出频率： 13.56 MHz
三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节）
腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L
仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵）
【滑动法兰】
有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。
样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。
【加热圈和温控系统】
加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃
加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失
温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC
输入电源： AC 220V
【两通道混气系统】
混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM
三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa,
混气箱上安装有304不锈钢针阀
配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
净重: 14 lbs.
【真空和气体接口】
标准的真空配置有：
一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀）
一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍
一个数字式真空显示计
等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。
可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处（注意：不可通入易燃易爆性气体）
【真空泵】
仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,
进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr
【移动架】
设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面
【仪器尺寸和重量】
等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D
温控盒： 4"H x 10"W x 8"D
移动架：600 x 600 x 600mm
净重：70 lb (包含真空泵)

带有预热系统的滑动PECVD详细介绍：
带有预热系统的滑动PECVD，型号为OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统，组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉，预热炉（作用为使固体原料蒸发）和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线或用CVD，方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。
【详细参数】

特点
与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温多薄膜损坏
可以通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果
炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃
管式炉最高工作温度为1100℃
带有预热炉，最高温度为1100℃，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
双温区滑轨炉
连续工作最高温度为1100℃
炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字查看详细资料）
两个温控系统独立控制两个温区，都可设置30段升降温程序
每个温区长度为200mm
总温区长度：400mm
两个温区最大温差为：400℃
炉管材料：高纯石英管
石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
所需电源: 208 – 240V AC单相
最大功率： 4KW
等离子射频发生器
输出功率: 5 -500W可调
稳定性为：+/-1%
射频电源频率：13.56 MH, 稳定性±0.005%
最大反向功率: 200W
射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半导体, 阴极
噪音:<50 dB.
冷却方式：空气冷却
输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
预热炉一款小型单温区管式炉，加热区为200mm
最高温度:  1100ºC
可设置30段升降温程序
气体通过等离子射频电源前，先通过预热炉
也可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
防腐型数显真空计测量范围3.8x10-5 至 1125 Torr:当气压在10mbar以上时，可独立测量各种气体，不必做校正（包括混合气体）
对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性:信号响应时间较短（≤30ms)：因为传感器上镀有防腐涂层，所以具有较好的抗腐蚀性
真空泵和阀 ：如您想获得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组
配有挡板阀、波纹管和卡箍等真空配件
电动滑轨 ：可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果
滑动速度：0-70 mm/s（可调）
升温和降温速率

RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买）
为了获得最大的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品盛放位置
加热速率:

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷却速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

可以选购2-4通道质子流量计混气系统（精度1.5%）
炉体尺寸: 550 x 380 x 520  mm
滑轨长度：1750 mm
净重 ： 220 Lbs
质保期   ：一年质保期，终生维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）

1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统详细介绍：
1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统（包含原位热蒸发系统、4通道混气系统以及真空泵系统）-OTF-1200X-S-II-4CV-PE，是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积（HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源（带自动匹配功能）、上游蒸发舟、4通道质子流量计控制系统以及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆（如：制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。
【结构特点】
炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出
300W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度
齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性
4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控
集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段
【双温区回转炉的参数】
最高温度：1100ºC(< 1h) 连续工作温度：< 1000℃
两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统
输入功率：208-240V，单相，功率：1.5KW
高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗
回转炉旋转速度：0-5 rpm
炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
旋转速度：0-5rpm可调
炉体可倾斜角度：0~30°
尺寸：2700mm L x 600mm W x 1250mm H
净重：90kg
运输重量:136kg
【等离子射频电源的参数】
输出功率：0-300W可调（稳定性：±1%）
射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)
最大反射功率：100W
匹配：自动匹配
射频输出端口：50Ω、N型
噪音：＜50dB
冷却: 空气冷却
电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
【蒸发舟】
0.7mL氧化铝坩埚（由钨丝加热圈包围）
S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的精确测温
最高温度可达1100℃，长期使用温度达1000℃
【石英管参数】
高纯异形石英管
尺寸：两端：25 mm OD x 22 mm ID；中间：50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L
【密封法兰】
一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）
磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
【4通道质子流量计控制系统】
4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 0~200 SCCM
三路: 1~200 SCCM
四路: 1~500 SCCM
电压：208-240V AC 50/60Hz
气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
不锈钢针阀用于手动控制气体进出
PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
【温度控制】
2个温区分别由2个独立的温控系统控制
采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
采用K型热偶，控温精度+/- 1℃
RS485通信端口。

1200℃5英寸三温区等离子增强R-PECVD粉体回转炉系统详细介绍：
1200℃5英寸三温区等离子增强R-PECVD粉体回转炉系统，型号为OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统（R-PECVD），等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程。自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集，包含射频电源（带自动匹配功能）、4通道质子流量计控制系统以及真空泵系统，可由PLC触摸屏或者PC电脑控制，使用方便快捷。
【详细参数】

结构特点 ·炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸
·300W射频电源（13.56MHz）可实现等离子增强从而显著降低实验温度
·齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性
·4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控
·配备自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集
三温区回转炉
·最高温度：1200ºC(< 1h) 连续工作温度：1100℃
·三个PID温度控制器以及30段可编程温控系统，控温精度：±0.1℃
·输入功率：208-240V，单相，最大功率：4KW
·高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗
·回转炉旋转速度：2-10rpm
·炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
·三温区：152mm+304mm+152mm，总温区长度为609mm
·恒温区长度：480mm(三温区设置为同样温度时，±2℃)
等离子射频电源
·输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%）
·射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)
·最大反射功率：100W
·匹配：自动匹配
·射频输出端口：50Ω、N型
·噪音：＜50dB
·冷却: 空气冷却
·电源: 208 -240VAC, 50/60Hz
石英管 ·标准5英寸高纯异形石英管
·两端直径为60mm,中间直径为127mm
密封法兰
·一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）
·磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
旋转速度 ·2-10rpm可调
炉体可倾斜角度 ·0~30°
真空泵及真空表
·EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中
·KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
·真空度可达10-2Torr
注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
4通道质子流量计控制系统
·4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
·流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 0~200 SCCM
三路: 1~200 SCCM
四路: 1~500 SCCM
·电压：208-240V AC 50/60Hz
·气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
·不锈钢针阀用于手动控制气体进出
·PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
容积式进料器
·EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理
·2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）
温度控制 ·配备Microsoft Window 10系统电脑，可直接用于实验
·可使用软件对温度、气体进气量、等离子电源功率等参数进行设置
尺寸和重量 ·2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：600mmL x 700mm W x 700mm H
·净重：180kg
质保期 一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外）
质量认证 ·CE认证
·所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证
·如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

4路质子混气管式PECVD系统详细介绍：
4路质子混气管式PECVD系统，型号为OTF-1200X-50-4CLV-PE，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD），内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。
【实验机理】
辉光放电等离子体中：电子密度高10ʌ3-10ʌ12cm3
电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍
【产品特点】
虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。
科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。
【开启式管式炉参数】
工作温度：1200℃
炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器
加热区长度：440mm
功率：AC 220V 4KW
炉体：550*380*520mm
供气及真空系统：600*600*597mm
净重：120KG
【等离子射频电源】
输出功率：50-500W最大可调±1%
RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%
噪声：≤55DB
冷却：风冷
输入功率：1KW AC 220V
【真空泵和阀门】
采用KF25系列波纹管和精密针阀连接
真空度可达10-3torr
本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至 1125Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
【质量流量计】
内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量
气体流量范围为0-200 误差为0.02%
一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入
进气口：采用国际标准双卡套接头

小型PECVD管式炉系统详细介绍：
小型PECVD管式炉系统，型号为 OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。
【小型PECVD管式炉系统的特点】
☆ 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验
☆ 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
☆ 通过工艺调节来控制化学计量
☆ 能够广泛地用于各种材料沉积，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等
【技术参数】

开启式管式炉
输入电源：208 – 240V AC, 1.2kW
最高工作温度1200℃（小于1小时）
连续使用温度1100℃
采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率
高纯石英炉管，尺寸为 50mmOD x 44mmID x  780mmL
可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护
加热区长度为200mm 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。
等离子体射频电源

输出功率: 5 -500W可调
稳定性为+/-1%
射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005%
最大反向功率: 200W max
射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体, 阴极
噪声<50 dB.
冷却方式：空气冷却
输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法兰和接头
真空法兰采用304不锈钢制作
左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍
仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能（请点击图片查看详细介绍）
真空泵：AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W2L/s，与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2 torr
进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
产品尺寸和重量    外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)；净重: 160 lbs
可选配置 ：下面是混气及气液混合系统，防腐型小型三路浮子混气系统，精密气液混合系统，三路质子混气系统
开门断电   ：为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
质保期  ： 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）

1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统详细介绍：
1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统，型号为OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其最高温度可达1200℃，极限真空可达to 10^-5 torr，混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。
【详细参数】

管式炉 壳体
采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度
保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
三个温区，可以独立控温
真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动.
加热元件 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，使其延长加热元件的寿命）
最高工作温度 1200°C
连续工作温度 1100°C
最大升温速率 ≤20°C/min
加热区长度
总温区长度: (880mm, 35" in total)
温区 1: 220 mm + 温区2: 440 mm + 温区 3: 220 mm
炉管尺寸和材质
材质：高纯石英管
100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
温控系统
三个数字精密温度控制器，可设置50段升降温程序，每个温区可以进行独立控温
PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 oC
带有过热和断偶保护
热电偶     3根K型热电偶
输入电源 AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：7KW
真空配件
标准的真空配件包括
两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口
两个精密针阀和一个1/4“软管接头
6个高温硅胶O型密封圈，最高可承受温度300°C
为了防止热量以热辐射的形式散失，高温损坏密封圈，炉子在加热前必须放入氧化铝管堵
一根KF-40 抽真空波纹管
三个KF-40 快速卸装卡箍
2个KF-25 快速卸装卡箍
高真空机组 结构
壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
最大承载量: 600 Lbs on top
分子泵显示屏:LCD数字显示 内装有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany
真空传感器
真空传感器有一个kf 25接口
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
控制面板
一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动）
系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
抽气速率
N2 33 L/s
He 39 L/s (2340L/minute)
H2 32 L/s
工作范围 1000 mbar to <1E-7 mbar
极限 10^-5 torr (with tube furnace)
输入电源 110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz
消耗功率 持续时间/最大功率: 100/110Watt
MFC 质量流量控制器
9通道精密质量流量控制器，安装在移动架上，并带有数字显示
3 MFC 范围10 - 1000scc
3 MFC 范围2 0 - 200scc
3 MFC范围3 0 - 10 scc
三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上，用来检测混合气体的压力
运输信息
炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm
质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
高真空机组尺寸: 600 x 600 x 700mm
重量
净重: 100Kg
运输重量: 350 lb (two pallets)
质量认证 一年质保期，相关耗材除外如炉管，密封圈，加热元件等易耗件

连续进出料等离子体增强回转设备详细介绍：
连续进出料等离子体增强回转设备，型号为：BTF-1200C-RP-EPCVD，该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以低压条件下实现工艺，PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光相对均匀等效，很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，该设备炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-35°之间，所有物料经过的管道都选用非金属材质，如：进出料腔体选用石英材质，推料杆选用石英及聚四氟材质。
【结构与原理】
设备组成：加热系统，Plasma系统，进料系统，出料系统，气体控制系统，低真空系统，气料分离系统，过滤系统，炉管转动系统，电控操作系统。
（1）加热系统：
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。

额定功率： 4KW
额定电压： AC220V 50/60Hz
最高温度： 1200度
使用温度： 1100度
设备尺寸： 长*宽*高 2100*600*1200mm
炉管尺寸 ：Ø60*420*2+Ø100*360mm*
炉管旋转速率 ：0~60r/min
炉体倾斜角度： 0~35°
炉膛材料： 氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型： K型热电偶
控温精度： ±1℃
控温方式 ：30段可编程控温，PID参数自整定；操作界面为10”液晶触摸屏控制
加热长度： 200mm+200mm
恒温长度： 250mm
加热元件： 电阻丝
（2）Plasma系统：
本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。
（3）进料系统：
送料系统速度连续可调，停止送料且炉体倾斜最大时，物料不会从送料系统外漏，送料系统方便拆卸，拆卸后可手动加料，设备可正常运行。
（4）出料系统：
出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。
（5）气体控制系统：
该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的，也可以独立控制，质量流量计安装于密封的可移动的机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

连接头类型 双卡套不锈钢接头
标准量程：（N2) 第一路: 200 SCCM；第二路: 500 SCCM
准确度： ±1.5%F.S
线性： ±1%F.S
重复精度： ±0.2%F.S
响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa
最大压力: 3MPa
接口: Φ6,1/4''
显示: 4位数字显示
工作环境温度 :5~45高纯气体
压力真空表: －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀: Φ6
内外双抛不锈钢管: Φ6
（6）低真空系统：
该系统配备真空机械泵，可以抽真空，可以让设备在真空环境下进行反应。

空气相对湿度: ≤85%
工作环境: 5℃～40℃
工作电电压 :220V±10% 50~60HZ
功率: 1KW
抽气速率: 10m³/h
极限真空: 5X10-1Pa
工作压力范围 :1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值: 0.03MPa
容油量: 1.1L
进气口口径: KF25
排气口口径 :KF25
噪音: 50dB
外形尺寸: 600×600×600mm
连接方式 :采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
（7）气料分离系统：
该系统可以让设备在充气体保护或者抽真空时，实现气体与物料的分离。
（8）过滤系统：
该系统可防止物料进入真空泵，保证真空泵的正常运行。
（9）炉管转动系统：
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。
3.技术指标：
（1）该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；
（2）整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间可调；
（3）送料系统送料速度连续可调，停止送料且炉体最大倾斜时，物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸，拆卸之后可以手动加料，设备可正常运行。
（4）炉管回转稳定，不会上下左右跳动；转速在0~60r/min连续可调，能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。
（5）炉子转速，加料速度，倾斜角度，真空度，气体流量，温度，运行时间，等离子体功率等参数都用数字显示，并在运行过程记录设备整个运行轨迹及上述参数（在工控及独立电脑上均能实现）；
（6）设备运行可分为手动模式与自动模式；自动模式下可实现高度自动化运行，所有参数程序设定好后自动运行：可实现按照设定程序连续工作，可设置多工作段不同参数，并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作；

迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统详细介绍：
迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统，型号为BTF-1200C-R-S-PECVD，本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。
【特点】
1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；
2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间。
3.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
【技术参数】
1、加热系统：

型号: BTF-1200C-R-S-PECVD
显示模式 :10"液晶触屏显示
最高温度 :1100℃
升温速率: 10℃/S
控温精度: ±1℃
加热元件 :电阻丝
热电偶: K型
控温方式: 10"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸: Φ25*800mm （中间部位尺寸Φ50*225）
炉管转速: 3~13r/min
倾斜角度 :0~35°
加热功率 :2KW
2、射频电源

信号频率: 13.56 MHz±0.005%
功率输出范围: 0W~100W
最大反射功率 :100W
射频输出接口: 50 Ω, N-type, female
功率稳定度: ≤5W
谐波分量 :≤-50dbc
供电电压 :单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率: >=70%
功率因素: >=90%
冷却方式 :强制风冷
3、四路质子流量控制系统

外形尺寸: 600x600x650mm
连接头类型 :双卡套不锈钢接头
标准量程:（N2) 50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm（量程和数量可选）
准确度: ±1.5%F.S
线性: ±1%F.S
重复精度 :±0.2%F.S
响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围 :0.1～0.5 MPa
最大压力: 3MPa
接口: Φ6,1/4''
显示 :4位数字显示
工作环境温度: 5~45高纯气体
压力真空表: －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀: Φ6
内外双抛不锈钢管: Φ6
4、低真空机组

空气相对湿度: ≤85%
工作环境 :5℃～40℃
工作电压 :220V±10% 50~60HZ
功率: 1KW
抽气速率: 10m³/h
实验真空 :10-1Pa
工作压力范围 :1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值: 0.03MPa
容油量: 1.1L
进气口口径: KF25
排气口口径: KF25
噪音 :50dB
外形尺寸: 600×600×600mm
连接方式 :采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
配用规管: ZJ-52T电阻规
测量范围: 10 5 ～10 -1 Pa
控制方式: 5×10 3 ～5×10 -1 Pa
控制方式 :继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
通讯接口 :USB
外形尺寸 :1000*400*720mm

三温区智能型等离子体化学沉积系统详细介绍：
此款智能型等离子体增强化学沉积系统的高温真空炉加热腔体采用进口氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于制备大面积高质量低成本二维层状半导体材料及其异质结。加热元件选用上下共16组电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
本设备集真空系统、气路系统、射频源、自动推进、加热炉于一体，并将所有控制集成于触屏操控界面之中，使设备更加智能化，便于使用者操作。增大了加热区的长度及温区数量,延长了炉管，使辉光长度达到了2000mm，同时保持很好的辉光均匀性。
【技术参数】

一、加热区参数

炉管尺寸：外径φ50*2000mm
炉管：高纯度石英管Φ25\50\60\80\100\150x2000mm  (管径可选)
加热元件:电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加热区长度：600mm（200+200+200mm）
恒温区长度: 400mm(100+200+100mm)
工作温度：1100℃
最高温度：1200℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
最大升降温速率：≤30℃/min
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；
尺寸约：2000×600×1500 mm（长、宽、高）
备注：可选配单温区、双温区、三温区等加热区。
气路系统参数： 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

二、低真空系统参数

国产油泵型号：BSV-10
抽速：10m³/h
极限真空度：5*10-1pa
电源：220v 50hz
电机功率：0.4kw
进排气连接口：KF25
用油量：1.1L
电机转速：1440rpm
工作环境温度：5-40℃
噪音：≤56db
电阻真空计参数：
1.配用规管：ZJ-52T电阻规，
2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa，
3.测量路数： 1路
4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa，
5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，
6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，
7.功耗： 20W

三、射频源主要参数

信号频率：13.56 MHz±0.005%
功率输出范围：0-500W
最大反射功率:100W
射频输出接口：50 Ω, N-type, female
功率稳定性：≤5W
谐波分量：≤-50dbc
供电电压：单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率：>=70%
功率因素：>=90%
冷却方式：强制风冷
备注：可根据腔体大小选择射频源功率。