高真空系统GZK-103G-L-合肥科晶
高真空系统GZK-103G-L详细介绍:
高真空系统GZK-103G-L是一款抽速可达700L/s的国产分子泵真空系统，通过复合真空计和分子泵控制器显示真空度及各项工作状态，操作简单方便。它主要由真空室，阀门及真空连接管道，F-160/700分子泵，VRD-48机械泵，真空测量系统，电器控制系统构成。通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料。
【技术参数】
| 基本参数 | • 工作电电压：AC380V±10% 50~60HZ
• 功率：2.5KW • 工作环境温度5~32℃ • 空气相对湿度≤80% • 系统极限真空度：5.5* 10-5Pa • 外型尺寸：1000*600*1550mm |
| 主要配置 | 技术指标性能 |
| 1、前级机械泵 | • 型号：VRD-48
• 抽气口接口尺寸：KF40 • 抽气速率：（48m3/h）13.3L/S • 电机功率：1500 W 极限压强4×10-2 Pa |
| 2、分子泵 | • 型号：FF-160/700
• 抽气速率：700L/S • 极限压强：6×10-7 Pa • 启动时间：＜4min • 额定转速：36000转/分 • 冷却方式:：风冷/水冷 • 抽气口接口尺寸：CF160 |
| 3、分子泵控制电源 | • 电压：AC 200~240V； 输出功率：750W
• 加速时间：5分钟 • 输出频率：0.0—-1300HZ |
| 4、ZDF-Ⅲ复合真空计 | • 工作电电压：220V 50~60HZ
• 电阻规阻值：约85欧 • 自动保护（电离）>10Pa • 电离规管测量范围：100~10-5Pa • 电阻规管测量范围：105 ～ 10-1 pa |
| 5、CF80高真空手动插板阀 | • 采用CF80无氧铜密封，CF刀口密封法兰 |
| 6、连接管路 | • 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1*10-9Pa.m3/s |
| 7、接口尺寸 | • 系统抽气接口尺寸：KF63
• 标配一个KF63转KF40变径头 |
| 真空度 | • 可与各管式炉等加热设备等连接使用
（以GSL-1100X-III φ280mm管为例） • 真空度： 4.0X10-4Pa（抽1h） 2.0X10-4Pa（抽2h） 1.0X10-4Pa（抽3h） 8.9X10-5Pa（抽4h） 5.5X10-5Pa（抽12h） |