VS高真空系统-南京博蕴通
VS高真空系统详细介绍：
VS高真空系统，型号为FJ-620分子泵机组， FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计），控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
FJ-620分子泵机组技术性能：
| 产品型号 | FJ-620 | ||
| 进气口法兰 | DN160LF | DN160CF | |
| 抽气速率L/S（对空气） | 600 | ||
| 压缩比 N2
H2 |
＞109 6×103 |
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| 建议启动压强 | ＜100 Pa | ||
| 极限压强（Pa） | 6×10-6 | 6×10-7 | |
| 排气口法兰 | KF25/KF40 | ||
| 使用轴承 | 精密机械轴承 | ||
| 输入电压频率（V/Hz） | 380±20/50 | ||
| 环境温度（℃） | 0～40 | ||
| 前级泵型号 | RVP-6 | ||
| 额定工作转数（rpm） | 42，300 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 冷却水压力（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷却水温度（℃） | <25 | ||
| 安装方式 | 任意 | ||
| 重量（公斤） | 52 | ||
| 长×宽×高 | 730×520×700 | ||
| 重量 | 117 | ||