混气系统2路浮子-合肥科晶
混气系统2路浮子–CGM-2F详细介绍：
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。
【具体参数】
| 名称 | 小型双通道浮子混气系统–CGM-2F |
| 浮子流量计 | 两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min |
| 混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气 |
| 机械压力表（混气罐） | -0.1-0.15 MPa |
| 关键和阀门 | ·采用ss304不锈钢
·三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢） |
| 外形尺寸 | 340 mm L x 300 D mm x 180 H mm |
| 可选 | ·CVD或者PECVD
·液相气体发生器 ·1200℃微型二通道混气CVD系统–OTF-1200X-S50-2F ·Plasma等离子清洗 |
| 净重 | 约10 Kg |