混气系统3路浮子-合肥科晶

混气系统3路浮子-合肥科晶

混气系统3路浮子详细介绍:
混气系统3路浮子这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
【技术参数】

名称 混气系统3路浮子GSL-3F
浮子流量计 三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%

·A:10 – 100mL/min

·B:16 – 160mL/min

·C:25 – 250mL/min

机械压力表(混气罐) ·-0.1-0.15 Mpa
接头和气管 ·在混气系统右侧安装三个气体进口

·两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管(请参考说明书,也可另行定制,详情请咨询销售)

·两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一路混合气体和一路单独的气体)

·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头

真空针阀 ·采用ss304不锈钢

·安装在混气系统的右侧

外型尺寸 600 mm L x 600 mm W x 650 mm H(安装带刹车的转向轮)
净重 约75kg
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