混气系统3路浮子-合肥科晶
混气系统3路浮子详细介绍:
混气系统3路浮子这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
【技术参数】
名称 | 混气系统3路浮子GSL-3F |
浮子流量计 | 三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%
·A:10 - 100mL/min ·B:16 - 160mL/min ·C:25 - 250mL/min |
机械压力表(混气罐) | ·-0.1-0.15 Mpa |
接头和气管 | ·在混气系统右侧安装三个气体进口
·两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管(请参考说明书,也可另行定制,详情请咨询销售) ·两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一路混合气体和一路单独的气体) ·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头 |
真空针阀 | ·采用ss304不锈钢
·安装在混气系统的右侧 |
外型尺寸 | 600 mm L x 600 mm W x 650 mm H(安装带刹车的转向轮) |
净重 | 约75kg |