小型二通道混气系统（质子流量计）-合肥科晶
小型二通道混气系统（质子流量计）详细介绍：
小型二通道混气系统是一款小型的两通道质子流量计混气系统，其型号为：GSL-2Z-LCD-S。PLC触摸屏控制各通道气路流量，并可实时查看流量数据及曲线，可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用，实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
【详细参数】
| 基本参数 | • 工作温度：5~45ºC
• 最大压力:0.3MPa • 精度: ±1.5% FS • 重复精度: ±0.2%F.S. • 流量范围: 二路：1-199 SCCM （其他流量范围可定制） • 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
| 输入电源 | • AC 220V，50/60Hz |
| 功率 | • 100W |
| PLC触摸屏 | • 各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上 |
| 混气罐 | • 内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气 |
| 机械压力表 | • 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
• 量程:-0.1~0.15 MPa |
| 针阀 | • 316 不锈钢 |
| 通气管道 | • 内部连接管道为1/4”不锈钢管
• 外部通气管道为1/4”聚四氟管 |
| 外形尺寸 | • 360 mm L x 300 D mm x 190 H mm |
| 产品重量 | • 8.4kg |