1200℃三温区三通道混气CVD系统-合肥科晶

• 双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于60度
• 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失，环保节能
• 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
• 可开启式，更换炉管方便

• 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
• 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰，压力表和阀门

• 三个温区长度: (880mm, 35″ in total)
• 温区 1: 220mm  (8.6″ )
• 温区 2: 440mm  (17.3″)
• 温区 3: 220 mm (8.6″) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系

• 三个精密温度控制器，可独立控温
• PID控制方式,通过PWM固体继电器。
• 30段可编程智能温度调节仪，并可设置30段升降温程序.
• 带有过热和断偶保护功能

• 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）.
• 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5×10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵，真空度可以达到10-4 torr.
• 漏气率 < 5 m-torr / min

气体流量计和压力表

• 三个浮子流量计，能够检测到气体的流
• 三路浮子量程分别为
• 10-100 cc/min.
• 16-160 cc/min.
• 25-250 cc/min
• 内部安装有一混气罐
• 有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上，可以检测气体压力及混合槽的压力

• 炉子: 1100 X 450 x 670mm
• 底部移动架: 600x600x597mm