OTL-CVD-1200CVD系统-南京莱步科技实业

OTL-CVD-1200单温区CVD系统详细介绍：

OTL-CVD-1200单温区CVD系统是由3路供气系统+OTL1200管式炉+真空系统组成。

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

OTL-CVD-1200单温区CVD系统以进口电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表，能进行40段程序控温，移相触发、可控硅控制，并且配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

OTL-CVD-1200单温区CVD系统的炉膛是真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛；采用日本技术成型；炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场；采用4周加热，温场更加均衡。

炉膛参数：

◆  控温模式：智能PID

◆  断偶保护和显示：有

◆  过温保护：有

◆  过流保护：有

◆  控制精度：+/- 1 ℃

◆  触发器：移相触发

◆  电器：浙江正泰

◆  可控硅：106/16E 德国西门康

◆  最高温度：1200 ℃

◆  额定温度：1100 ℃

◆  升温速率：≤30 ℃/ Min （可根据要求修改）

◆  推荐升温速率：≤15℃/ Min

◆  热电偶型号：K  型

◆  加热段长度：440mm