1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统-合肥科晶

1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统详细介绍：
1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统（包含原位热蒸发系统、4通道混气系统以及真空泵系统）-OTF-1200X-S-II-4CV-PE，是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积（HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源（带自动匹配功能）、上游蒸发舟、4通道质子流量计控制系统以及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆（如：制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。
【结构特点】
炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出
300W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度
齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性
4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控
集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段
【双温区回转炉的参数】
最高温度：1100ºC(< 1h) 连续工作温度：< 1000℃
两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统
输入功率：208-240V，单相，功率：1.5KW
高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗
回转炉旋转速度：0-5 rpm
炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
旋转速度：0-5rpm可调
炉体可倾斜角度：0~30°
尺寸：2700mm L x 600mm W x 1250mm H
净重：90kg
运输重量:136kg
【等离子射频电源的参数】
输出功率：0-300W可调（稳定性：±1%）
射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)
最大反射功率：100W
匹配：自动匹配
射频输出端口：50Ω、N型
噪音：＜50dB
冷却: 空气冷却
电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
【蒸发舟】
0.7mL氧化铝坩埚（由钨丝加热圈包围）
S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的精确测温
最高温度可达1100℃，长期使用温度达1000℃
【石英管参数】
高纯异形石英管
尺寸：两端：25 mm OD x 22 mm ID；中间：50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L
【密封法兰】
一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）
磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
【4通道质子流量计控制系统】
4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 0~200 SCCM
三路: 1~200 SCCM
四路: 1~500 SCCM
电压：208-240V AC 50/60Hz
气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
不锈钢针阀用于手动控制气体进出
PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
【温度控制】
2个温区分别由2个独立的温控系统控制
采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
采用K型热偶，控温精度+/- 1℃
RS485通信端口。