1200℃单温区三通道混气CVD系统-合肥科晶

1200℃单温区三通道混气CVD系统详细介绍：
1200℃单温区三通道混气CVD系统，型号为OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr。
【高温炉壳体】
采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃
内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
【基本参数】
功率：2.5 KW
电压： AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
加热元件：掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其最大程度延长使用寿命）
最高工作温度：1200℃
连续工作温度：1100℃
最快升温速率：≤20 ℃
炉管材质和尺寸：石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加热区长度：400 mm
控温系统：PID30段程序化控温
控温精度：±1℃
炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
混气系统尺寸: 600x600x597 mm
运输重量：200
净重：60kg
【真空密封系统】
两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），最大漏气率6 mtorr/min
【真空泵】
采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。
【混气系统】
三个浮子流量计
三路浮子量程分别为
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
内部安装有一混气罐