1200℃三温区九通道混气高真空CVD系统-合肥科晶

1200℃三温区九通道混气高真空CVD系统详细介绍：
1200℃三温区九通道混气高真空CVD系统，型号为OTF-1200X-4-III-9HV，是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其最高温度可达1200℃，极限真空可达to 10^-5 torr，混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。
【壳体结构】
采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度
保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
三个温区，可以独立控温
真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动
【基本参数】
加热元件：Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，使其延长加热元件的寿命）
最高工作温度：1200℃
连续工作温度：1100℃
最大升温速率：≤20℃/min
总温区长度: (880mm, 35″ in total)
温区 1: 220 mm + 温区2: 440 mm + 温区 3: 220 mm
炉管材质：高纯石英管
炉管尺寸：100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
热电偶：3根K型热电偶
输入电源：AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：7KW
炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm
质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
高真空机组尺寸: 600 x 600 x 700mm
净重: 100Kg
运输重量: 350 lb
【温控系统】
三个数字精密温度控制器，可设置50段升降温程序，每个温区可以进行独立控温
PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在±1℃
带有过热和断偶保护
【真空配件】
标准的真空配件包括
两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口
两个精密针阀和一个1/4“软管接头
6个高温硅胶O型密封圈，最高可承受温度300°C
为了防止热量以热辐射的形式散失，高温损坏密封圈，炉子在加热前必须放入氧化铝管堵
一根KF-40 抽真空波纹管
三个KF-40 快速卸装卡箍
2个KF-25 快速卸装卡箍
【高真空机组结构】
壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
最大承载量:600 Lbs on top
分子泵显示屏:LCD数字显示
【控制面板】
一键操作：按下”start” 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动）
系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
【抽气速率】
N2 33 L/s
He 39 L/s (2340L/minute)
H2 32 L/s
【MFC质量流量控制器】
9通道精密质量流量控制器，安装在移动架上，并带有数字显示
3 MFC 范围10 – 1000scc
3 MFC 范围2 0 – 200scc
3 MFC范围3 0 – 10 scc
三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上，用来检测混合气体的压力