KTL-CVD-1400CVD系统-南京莱步科技实业

KTL-CVD-1400单温区CVD系统详细介绍：

KTL-CVD-1400单温区CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。是由3路供气系统+KTL1400管式炉+真空系统组成。

KTL-CVD-1400单温区CVD系统的加热元件：

■  硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。

■  m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

■  硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。

可以与电脑连接（选购）

KTL-CVD-1400单温区CVD系统配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

炉膛特点：

■  真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

■  采用日本技术成型。

■  炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

■  炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。

■  炉膛表面光洁、不易掉粉。

炉膛参数：

▶  控温模式：智能PID

▶  断偶保护和显示：有

▶  过温保护：有

▶  过流保护：有

▶  控制精度：+/- 1 ℃

▶  触发器：移相触发

▶  电器;浙江正泰

▶  可控硅:106/16E 德国西门康

▶  最高温度:1400 ℃

▶  额定温度:1350 ℃

▶  升温速率：≤35 ℃/ Min （可根据要求修改）

▶  推荐升温速率：≤15℃/ Min

▶  热电偶型号：S型

▶  加热段长度：300 mm