KTL-CVD-1700CVD系统-南京莱步科技实业

KTL-CVD-1700CVD系统-南京莱步科技实业

KTL-CVD-1700单温区CVD系统详细介绍:

KTL-CVD-1700单温区CVD系统是由4路供气系统KTL1600管式炉+真空系统组成。

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KTL-CVD-1700单温区CVD系统配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

炉膛材料特点:

▶  真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

▶  采用日本技术成型。

▶  炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

▶  采用4周加热,温场更加均衡

▶  该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强

KTL-CVD-1700单温区CVD系统的触发器特点(选购):

▶  移相触发(带软启动和限流功能)

▶  限流功能:无论怎么样设置升温速率,我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内,有效的保护了设备。由于采用限流功能,高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制(例如:规定在1400℃后不得超过3℃/min等)即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大,设备会跳闸或烧坏。

▶  软启动功能:开机时电流会慢慢增大,对加热元件的冲击较小,有利于加热元件寿命的延长

▶  保护功能:如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。

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