1700℃三温区三通道混气CVD系统-合肥科晶

1700℃三温区三通道混气CVD系统详细介绍:
1700℃三温区三通道混气CVD系统,型号为： GSL-1700X-III-F3LV。是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统，其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵，混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃，真空度可达到5×10-2 torr ，可以混合1-3种气体。
【炉体结构】
采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃
炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，最大程度减少能量损失
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
三个温区分别被三个独立的温控系统控制
【技术参数】
功率：9 KW(需要75A的空气开关 )
电压：AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
总加热区长度: 25″ (630 mm)
加热温区1长度: 7.5″ (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，最高温度可达1400℃
升温速率: 10°C/min
加热温区2长度: 10″ (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热，最高温度可达1700℃
最快升温速率: 5°C/min
加热温区3长度: 7.5″ (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，最高温度可达1400℃
最大升温速率: 10°C/min
温控系统：3个温控系统，都是PID30段程序化控温
控温精度：±1℃
高温炉尺寸: 863 L x 457 W x 711 H mm
【炉管和法兰尺寸】
99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube
（标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L
（选配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1200mm L
一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀门和仪表
仪器中包括4个氧化铝管堵
【低真空系统】
采用双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到 10-2 Torr.
一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式炉上的法兰相连接
【三路浮子混气系统】
3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。
第一路气体流量范围为10-100 cc/min.
第二路气体流量范围为16-160 cc/min.
第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接
移动架上安装有4个不锈钢针阀