1700℃单温区三通道混气CVD系统详细介绍：
1700℃单温区三通道混气CVD系统，型号为：GSL-1700X-F3LV。是一款CE认证的管式炉CVD系统，其真空泵采用双旋片式，混气系统采用三路浮子供气系统，最高温度可以达到1700°C，真空度可达到5×10-2 torr ，可以混合1-3种气体。
【详细参数】
| 管式炉结构 |
- 采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C.
- 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失
- 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
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| 加热元件 |
1800 grade MoSi2 ( 8根) |
| 最高工作温度 |
1700℃ |
| 最大升温速率 |
5℃/min |
| 最大降温速率 |
5℃/min |
| 加热区长度 |
455mm (18″) |
| 温控系统 |
- 一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR
- 可设置30段升降温程序
- 带有过热和断偶保护
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| 控温精度 |
+/-1℃ |
| 炉管材质和尺寸 |
- 99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管
- （标配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L
- （选配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L
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| 密封法兰 |
- 两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装机械压力表（图片中的蓝表为选配）和阀门
- 通过机械泵真空压力可以达到5×10-2 torr
- 泄漏率最大6 mtorr/min
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| 输入电源 |
AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：最大5KW |
| 真空泵和配件 |
真空泵 |
- 一个双旋片式机械泵安装在移动架内
- 通过此机械泵真空度可以达到 5×10^-2 torr
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| 配件 |
- 标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口，两个不锈钢针阀， 1/4″的软管接头
- 一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍
- 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8×10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
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气体流量计
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- 3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。
- 第一路气体流量范围为10-100 cc/min.
- 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.
- 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
- 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ，来监测混合气体的压力
- 四个不锈钢针阀安装在前面板上
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| 运输信息 |
产品尺寸 |
- 外径80 & 100mm 的氧化铝陶瓷管
- 炉体尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
- 混气系统：: 600 x 600 x 700mm 真空机组： 600 x 600 x 700mm
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| 净重 |
450 lb (总计) |
| 运输重量 |
500 lb (总计) |
| 质保期 |
一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件 |