1700℃九通道混气高真空CVD系统-合肥科晶

1700℃九通道混气高真空CVD系统详细介绍：
1700℃九通道混气高真空CVD系统，型号为：GSL-1700X-HVC9是CE认证的带真空泵系统的直径为80 mm的氧化铝管式炉(不超过10)。9通道精密数字质量流量计，可控制九种气体的化学气相沉积或扩散，并工作到1700℃。
▶ 【炉膛结构】
双层钢外壳，空气冷却。
两个冷却风扇内部，以保持箱体温度<55oc.
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长炉膛的使用寿命
高纯氧化铝耐火材料室
真空与气体混合系统位于底部四轮手推车内。.
包括真空法兰、量规、阀门、管道和高真空泵，以便立即使用。
▶ 【基本参数】
功率：6千瓦
电压：交流208-240 V单相，50/60 Hz
加热元件：8件1800℃级Mosi2加热元件
最高温度：1700℃(<1小时)
连续温度：1600℃
加热速率：≤5℃/min
加热区长度：457毫米(18“)
恒温区长度：150毫米(6“)(+/-1)℃)
热电偶：内置B型热电偶
▶ 【炉管尺寸和材料】
材质: 高纯氧化铝陶瓷管。
(标配尺寸)(60毫米)O.D.x I.D.(54毫米)x 1000毫米长
(选配尺寸)(80毫米)O.D.x I.D.(74毫米)x 1000毫米长
安装了两对SS曲柄支架，以避免在高温下弯管
▶ 【温控系统】
采用PID方式自动控制，并可设置50段升降温程序
每个控制器对过热和损坏的热电偶都有充分的保护
PID自整定功能，确保温度稳定在+/-1℃
▶ 【真空法兰】
两个带有真空软管和气体配件管的不锈钢法兰。一个法兰安装KFD-40适配器和球阀。
300以下用双高温硅酮O形环.
多孔氧化铝块包括保护法兰免受热辐射。
▶ 【真空泵】
安装在底部的两级真空泵：
一双级旋转叶片高速机械真空泵-T2XZ-4C110和麦克斯在一起。真空压力10-2托尔。
一涡轮分子泵和麦克斯在一起。真空压力2×10-5托尔。
安装了一个精密真空传感器。
不锈钢软管为连接到管式炉。
安装数字真空计/控制器。