1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统-合肥科晶

1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统详细介绍：
1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统，型号为OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等离子增强双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源（带自动匹配功能）、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵以及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的改性处理工艺中（如：粉体掺杂（空穴、间隙原子）、表面改性、表面包覆、制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。
【详细参数】

结构特点

• 炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出
• 300W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度
• 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性
• 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控
工作电源 • AC208-220V，50/60Hz
• 总功率：4KW

双温区回转炉

• 最高温度：1100ºC(< 2h) 连续工作温度：1000℃• 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统
• 输入功率：208-240V，单相，功率：1.5KW
• 加热区长度：200mm，两温区，每个温区：100mm
• 回转炉旋转速度：0-5 rpm
• 炉体可倾斜角度：0-30℃
• 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
等离子射频电源 • 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%）
• 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)
• 最大反射功率：100W
• 匹配：自动匹配
• 射频输出端口：50Ω、N型
• 噪音：＜50dB
• 冷却: 空气冷却
• 电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
石英管
• 高纯异形石英管
• 尺寸：φ50mm*1100mm L
• 回转部分：φ60mm x 170mm L
密封法兰 • 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）
• 磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
真空泵 • 双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

4通道质子流量计控制系统

• 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
• 流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 0~200 SCCM
三路: 1~200 SCCM
四路: 1~500 SCCM
• 电压：208-240V AC 50/60Hz
• 气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管
• 不锈钢针阀用于手动控制气体进出
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
循环水冷机 标配KJ-5000循环水冷机，水流速率：16L/min
尺寸和重量 • 1400mm L x 600mm W x 1240mm H
• 净重：90kg
质保期 • 一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外）