小三温区等离子体增强化学气相沉积系统-安徽贝意克

小三温区等离子体增强化学气相沉积系统详细介绍：
小三温区等离子体增强化学气相沉积系统，型号为：PECVD-IIIS-500A。BTF-1200C-IIIS-PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。 本设备主要针对实验和中试石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,传感器等领域。

1、技术参数

最高温度 ：1200℃
使用温度： ≤1100℃
炉膛有效尺寸： Φ25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*2000mm(各管径可选）
炉膛材料 ：氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型： K型热电偶
控温精度： ±1℃
控温方式： 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序，可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。
加热长度 ：200+200+200mm（600mm）
恒温长度 ：400mm
加热原件： 电阻丝
供电电源 ：单相，220V，50Hz

2、PE射频电源

信号频率 ：13.56 MHz±0.005%
功率输出范围 ：0W~500W
最大反射功率： 100W
射频输出接口： 50 Ω, N-type, female
功率稳定度： ≤5W
谐波分量： ≤-50dbc
供电电压 ：单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率 ：>=70%
功率因素： >=90%
冷却方式 ：强制风冷

3、三路质子流量控制系统

连接头类型 ：双卡套不锈钢接头
标准量程：（N2) 50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
准确度： ±1.5%F.S
线性： ±1%F.S
重复精度： ±0.2%F.S
响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围： 0.1～0.5 MPa
最大压力： 3MPa
接口： Φ6,1/4”
显示 ：4位数字显示
工作环境温度： 5~45高纯气体
压力真空表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀： Φ6
内外双抛不锈钢管： Φ6

4、低真空机组

空气相对湿度 ：≤85%
工作环境： 5℃～40℃
工作电电压： 220V±10% 50~60HZ
功率： 1KW
抽气速率： 10m³/h
极限真空 ：5X10-1Pa
工作压力范围 ：1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值 ：0.03MPa
容油量 ：1.1L
进气口口径： KF25
排气口口径 ：KF25
噪音：50dB
连接方式 ：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连