滑动式双温区PECVD系统-合肥科晶

滑动式双温区PECVD系统详细介绍：
滑动式双温区PECVD系统，型号为：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组，这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。

设备型号有：
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL（炉管尺寸：2″(50mm)ODx1.7″IDx71″L）
OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL（炉管尺寸：3.14″(80mm)ODx2.83″IDx71”L）
OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL（炉管尺寸：5″(130mm)ODx4.8″IDx84”L）

产品优点

与传统的CVD相比，只需较低的制备温度
.滑轨式可快速加热和快速冷却
两个加热区，温度梯度最大可达 200ºC
最高工作温度1100°C
提供一个宽范围的材料制备 ，如碳和 ZnO 纳米管或纳米线以及单层石墨烯。
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。
【具体参数】

等离子发射源
输出功率:   5 -500W    ± 1% .
射频频率:   13.56 MHz    ±0.005% .
反射功率:    最大 200W
匹配:  自动
射频接口:   50 Ω, N-type
噪音:  <50 dB.
冷却:  风冷.
电源:  AC   208-240V, 50/60Hz
真空泵机组 :公司有多种真空泵可选

KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
管内真空可达10E-2 Torr
防腐型真空计( 美国) 安装在左法兰上
质量流量计 : 四个精密的质量流量计(精度0.02% ) ：数字显示，自动控制.

MFC 1范围:  0~100 sccm
MFC 2和3:    0~200 sccm
MFC 4范围:   0~500 sccm
一个混气罐，底部装有泄废液口.
4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
进气口: 4个1/4NPS.
出气口: 4个 1/4NPS.

控温软件

计算机可以通过控温软件控制炉子：RS485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块
为了获得较大的升温速度,  必须预热到设定温度，然后将炉子滑到样品位置。
为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.
炉体: 550 x 380 x 520  mm
滑轨:   1750 mm 长
移动架: 1200 x 1200 x 600mm.
净重: 220 Lbs.
运输重量: 500lbs.
开门断电     为保证使用安全，该电炉为开门断电设计