带有预热系统的滑动PECVD-合肥科晶

带有预热系统的滑动PECVD详细介绍：
带有预热系统的滑动PECVD，型号为OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统，组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉，预热炉（作用为使固体原料蒸发）和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线或用CVD，方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。
【详细参数】

特点
与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温多薄膜损坏
可以通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果
炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃
管式炉最高工作温度为1100℃
带有预热炉，最高温度为1100℃，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
双温区滑轨炉
连续工作最高温度为1100℃
炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字查看详细资料）
两个温控系统独立控制两个温区，都可设置30段升降温程序
每个温区长度为200mm
总温区长度：400mm
两个温区最大温差为：400℃
炉管材料：高纯石英管
石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
所需电源: 208 – 240V AC单相
最大功率： 4KW
等离子射频发生器
输出功率: 5 -500W可调
稳定性为：+/-1%
射频电源频率：13.56 MH, 稳定性±0.005%
最大反向功率: 200W
射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半导体, 阴极
噪音:<50 dB.
冷却方式：空气冷却
输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
预热炉一款小型单温区管式炉，加热区为200mm
最高温度:  1100ºC
可设置30段升降温程序
气体通过等离子射频电源前，先通过预热炉
也可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
防腐型数显真空计测量范围3.8×10-5 至 1125 Torr:当气压在10mbar以上时，可独立测量各种气体，不必做校正（包括混合气体）
对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性:信号响应时间较短（≤30ms)：因为传感器上镀有防腐涂层，所以具有较好的抗腐蚀性
真空泵和阀 ：如您想获得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组
配有挡板阀、波纹管和卡箍等真空配件
电动滑轨 ：可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果
滑动速度：0-70 mm/s（可调）
升温和降温速率

RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买）
为了获得最大的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品盛放位置
加热速率:

15°C/sec (RT – 150°C);

10°C/sec (150°C – 250°C);

7°C/sec (250°C – 350°C);

4°C/sec (350°C – 500°C);

3°C/sec (350°C – 550°C);

2°C/sec (550°C – 650°C);
1°C/sec (650°C – 800°C);
0.5°C/sec (800°C – 1000°C);

冷却速率:

15°C/sec (1000 – 950°C);

10°C/sec (950°C – 900°C);

7°C/sec (900°C – 850°C);

4°C/sec (850°C – 750°C);

2°C/sec (750°C – 600°C);
1.5°C/sec (600°C – 500°C);
1°C/sec (500°C – 400°C);
0.5°C/sec (400°C – 300°C);

可以选购2-4通道质子流量计混气系统（精度1.5%）
炉体尺寸: 550 x 380 x 520  mm
滑轨长度：1750 mm
净重 ： 220 Lbs
质保期   ：一年质保期，终生维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）