三温区滑轨式PECVD系统-安徽贝意克

三温区滑轨式PECVD系统详细介绍：
三温区滑轨式PECVD系统，型号为：BTF-1200C-III-SL-PECVD。滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。

【主要特点】
1.与传统CVD系统比较，生长温度更低。
2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。
3.设备特有的专利技术使得整管辉光均匀等效，均匀生长。

【三温区滑轨炉BTF-1200C-III-SL 参数】
炉管尺寸:外径Φ100*2330mm（可选）
极限温度:1200℃
工作温度:≤1100 ℃
温度控制器:PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器
最快升温速率:≤20℃/min
加热区:300+300+300mm
恒温区:150+200+150mm
控温精度:±1 ℃
电源:单相220V，交流50Hz

【4路质量流量供气系统 参数】
最大电压：185~245V/50Hz
最大输出功率:18W
流量计标准量程:100，200,200，500SCCM；（非特殊指定以氮气标定，量程可选定
工作温度:5~45 ºC
工作压差:0.1～0.5 MPa
最大压力:3MPa
准确度:±1.5% FS
测量范围:-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
针阀:316不锈钢
混气罐:Φ80×120mm
截止阀:Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸:600*600*650mm

【低真空系统 参数】
空气相对湿度：≤85%
工作电电压：220V±10% 50~60HZ
功率：500W
抽气速率：10m³/h
极限真空：4X10-2Pa
实验真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
进气/排气口径:KF25
噪音:50dB
外形尺寸:600×600×600mm

【射频电源 参数】
信号频率：13.56MHz±-0.005%
射频功率输出范围：5W-500W
最大反射功率：200W
射频输出接口：50Ω。N-type,female
功率稳定度：±0.1%
谐波分量：≤-50dbc
供电电压：单相50/60Hz 220v±10%
整机效率：>=70%
功率因素：>=90%
冷却方式：强制风冷