回转PECVD-安徽贝意克

回转PECVD详细介绍：
回转PECVD，型号为：BTF-1200C-R-PECVD，此PECVD系统可以做金属复合石墨烯材料，是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。
【特点】
1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；
2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间。
3.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
【技术参数】
型号：BTF-1200C-R-PECVD
显示模式：7″液晶触屏显示
最高温度：1100℃
升温速率：10℃/S
控温精度：±1℃
加热元件：电阻丝
热电偶：K型
控温方式：7″液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸：Φ60*420*2+Φ100*360mm
炉管转速：3~13r/min
倾斜角度：0~35°
加热功率：3KW
射频功率输出范围：0~500W
供气系统：标配三路质量流量计（50/100/200sccm）(量程可选）
供电电源：220V50Hz
通讯接口：USB
外形尺寸：1600mm*650mm*1400mm
设备净重：约220KG