迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统-安徽贝意克

迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统详细介绍：
迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统，型号为BTF-1200C-R-S-PECVD，本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。
【特点】
1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；
2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间。
3.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
【技术参数】
1、加热系统：

型号: BTF-1200C-R-S-PECVD
显示模式 :10″液晶触屏显示
最高温度 :1100℃
升温速率: 10℃/S
控温精度: ±1℃
加热元件 :电阻丝
热电偶: K型
控温方式: 10″液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸: Φ25*800mm （中间部位尺寸Φ50*225）
炉管转速: 3~13r/min
倾斜角度 :0~35°
加热功率 :2KW
2、射频电源

信号频率: 13.56 MHz±0.005%
功率输出范围: 0W~100W
最大反射功率 :100W
射频输出接口: 50 Ω, N-type, female
功率稳定度: ≤5W
谐波分量 :≤-50dbc
供电电压 :单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率: >=70%
功率因素: >=90%
冷却方式 :强制风冷
3、四路质子流量控制系统

外形尺寸: 600x600x650mm
连接头类型 :双卡套不锈钢接头
标准量程:（N2) 50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm（量程和数量可选）
准确度: ±1.5%F.S
线性: ±1%F.S
重复精度 :±0.2%F.S
响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围 :0.1～0.5 MPa
最大压力: 3MPa
接口: Φ6,1/4”
显示 :4位数字显示
工作环境温度: 5~45高纯气体
压力真空表: －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀: Φ6
内外双抛不锈钢管: Φ6
4、低真空机组

空气相对湿度: ≤85%
工作环境 :5℃～40℃
工作电压 :220V±10% 50~60HZ
功率: 1KW
抽气速率: 10m³/h
实验真空 :10-1Pa
工作压力范围 :1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值: 0.03MPa
容油量: 1.1L
进气口口径: KF25
排气口口径: KF25
噪音 :50dB
外形尺寸: 600×600×600mm
连接方式 :采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
配用规管: ZJ-52T电阻规
测量范围: 10 5 ～10 -1 Pa
控制方式: 5×10 3 ～5×10 -1 Pa
控制方式 :继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
通讯接口 :USB
外形尺寸 :1000*400*720mm