双炉体滑动PECVD系统-合肥科晶

双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱详细介绍：
双炉体滑动PECVD系统，型号为OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
【技术参数】

炉体结构

两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果
连续工作温度:1100℃
两个炉体都可以设置30段升降温程序
等离子体射频电源
输出频率: 13.56 MHz ±0.005%
最大射频功率: 500W
匹配: 自动匹配
噪音: <50 dB.
冷却: 空气冷却.
输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

真空系统

采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
管内真空可达10E-2 Torr

质量流量计混气系统

四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.
MFC1范围:  0~100 sccm
MFC2和3:   0~200 sccm
MFC4范围:  0~500 sccm
一个混气罐，底部装有泄废液口.
4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
进气口: 4个1/4NPS.
出气口: 4个 1/4NPS.
采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
可选购气液混合装置，用于CVD系统

炉管&密封法兰

高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计

防腐型真空计

输入电源   24V，1A  DC（配有一电压转换器）
测量范围   3.8x10-5 -1125 Torr.
数据显示   数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
接头 KF16 接头
产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循环手套箱

手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
带有除水系统：保持水含量< 2 ppm
一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接

质保期  :一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）