双温区滑轨式PECVD系统-安徽贝意克

双温区滑轨式PECVD系统详细介绍：
双温区滑轨式PECVD系统，型号为BTF-1200C-II-500A，智能PECVD设备是目前最新型的一款设备，将所有的控制部分集为一体，此款设备是我司在2013年获得专利的设备。高温真空加热炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。适用范围宽:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，连续生长各种薄膜等。增加功能容易，可扩展等离子清洗刻蚀等功能。
【特点】
1.薄膜沉积速率高：射频辉光技术，大大的提高了薄膜的沉积速率，沉积速率可达10Å/S；
2.大面积均匀性高：采用了先进的多点射频馈入技术，特殊气路分布和加热技术等，使得薄膜均匀性指标达到8%；
3. 一致性高：用半导体行业的先进设计理念，使得一次沉积的各基片之间偏差低于2%；
4. 工艺稳定性高：高度稳定的设备保证了工艺的连续和稳定；

【加热系统 参数】

最高温度： 1200℃（1 hour)
使用温度 ：≤1100℃
炉膛有效尺寸： Φ60*1650mm（炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料： 氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型 ：K型热电偶
控温精度 ：±1℃
控温方式 ：30段可编程控温，PID参数自整定，‚操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序，ƒ可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。加热长度： 200+200mm
恒温长度： 200mm
加热原件： 电阻丝
供电电源 ：单相，220V，50Hz
额定功率： 3KW

【PE射频电源 参数】

信号频率 ：13.56 MHz±0.005%
功率输出范围 ：500W
最大反射功率 ：500W
射频输出接口： 50 Ω, N-type, female
功率稳定度： ±0.1%
谐波分量 ：≤-50dbc
供电电压 ：单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率 ：>=70%
功率因素： >=90%
冷却方式 ：强制风冷

【四路质子流量控制系统 参数】

外形尺寸： 600x600x650mm
连接头类型 ：双卡套不锈钢接头
标准量程：（N2) 50sccm，100sccm、200sccm；500sccm（可根据用户要求定制）

准确度 ：±1.5%
线性： ±0.5～1.5%
重复精度 ：±0.2%
响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa
最大压力 ：3MPa
接口 ：Φ6,1/4''
显示： 4位数字显示
工作环境温度 ：5~45高纯气体
压力真空表： －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀： Φ6
内外双抛不锈钢管 ：Φ6

【低真空机组VAU-02 参数】

空气相对湿度： ≤85%
工作环境 ：5℃～40℃
工作电电压： 220V±10%  50~60HZ
功率： 1千瓦
抽气速率： 10m³/h
极限真空： 5X10-1Pa
工作压力范围： 1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值： 0.03MPa
容油量： 1.1L
进气口口径： KF25
排气口口径： KF25
噪音 ：50dB
外形尺寸 ：600×600×600mm
连接方式 ：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

【电阻真空计参数】

配用规管： ZJ-52T电阻规，
测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa，
测量路数： 1路
控制范围：  5×10 3 ～5×10 -1 Pa，
控制方式： 继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，
电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，
功耗： 20W