双温区PECVD系统-安徽贝意克

双温区PECVD系统详细介绍：
双温区PECVD系统，型号为BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1200C-II-SL-PECVD。400℃开启式真空预热管式炉不仅是可以提高热交换性能，降低热量损耗的一种预热设备，也可以作为1000℃小型加热炉进行抽真空，通气氛实验；加热区长度100mm，恒温区60mm；炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右。滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
【特点】
1.与传统CVD系统比较，生长温度更低。
2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。
3.设备特有的专利技术使得整管辉光均匀等效，均匀生长。
【技术参数】

1.硫粉预热器

型号：BTF-400C
工作温度：350℃
最高温度：400℃
最快升温速率：30℃/min
推荐升温速率：10℃/min
控温方式：智能化30段可编程控制
工作电压：AC220 V
额定功率：800W
控温精度：±1℃
加热元件：电阻丝

2.加热炉

技术参数：
额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v  50/60 Hz
最高温度(℃):1200（1 hour）
持续工作温度(℃）：1100
升温速率（℃/min）：≤50
炉管尺寸（mm）：
高纯石英管Φ50×1200mm
加热区长度（mm）：440mm
恒温区长度（mm）:200mm
控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝

3.供气系统（GMF-3Z）

重量：35Kg
外形尺寸：600x600x650mm
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
标准量程（N2)：100sccm、200sccm （可根据用户要求定制）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6

4.低真空机组（VAU-02）

技术参数：
空气相对湿度≤85%，
工作电电压：220V±10%  50~60HZ
功率：1千瓦
抽气速率：10m³/H
极限真空：4X10-2Pa
实验真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速：1450rpm
噪音：50dB
外型寸:600×600×600mm

5.射频电源

信号频率：13.56MHz±-0.005%
射频功率输出范围：5W-500W
最大反射功率：200W
射频输出接口：50Ω。N-type,female
功率稳定度：±0.1%
谐波分量：≤-50dbc
供电电压：单相50/60Hz 220v±10%
整机效率：>=70%
功率因素：>=90%
冷却方式：强制风冷