三温区1500℃ PECVD系统-合肥科晶

三温区1500℃ PECVD系统详细介绍：
三温区1500℃ PECVD系统，型号为OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统，它是由500W的射频电源，1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。

【详细参数】

三温区开启式：1500℃管式炉
最高工作温度：1500℃
连续使用温度：1400℃
三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序
每个温区长度为200mm
总温区长度为600mm
炉管尺寸：（标配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
炉管尺寸：（选配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
输入电源： 208 – 240V AC，单相
最大功率：6.6KW
配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口
内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。
输出功率:  5 -500W    ± 1% .
射频频率:    13.56 MHz    ±0.005% .
反射功率:    最大 200W
匹配: 自动
射频接口:   50 Ω, N-type
噪音:    <50 dB.
冷却:   风冷.
电源:   AC   208-240V, 50/60Hz

防腐型真空计

输入电源   ：24V，1A  DC（配有一电压转换器）
测量范围 ：  3.8x10-5 -1125 Torr.
数据显示：   数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
接头   ： 1/8"NPT 接头
产品尺寸： 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系统

采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
管内真空可达10E-2 Torr
质量流量计混气系统
四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.
MFC 1范围:  0~100 sccm
MFC 2和3:    0~200 sccm
MFC 4范围:   0~500 sccm
一个混气罐，底部装有泄废液口.
4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
进气口: 4个1/4NPS.
出气口: 4个 1/4NPS.
采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制

温控系统

三个温区分别由三个温控系统控制
采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
带有超温和断偶保护
控温精度：+/- 1 ºC

外型尺寸
炉体：550 x 380 x 520  mm
炉体下端移动柜：1800×600×600mm
净重：220 Lbs.
运输重量：1200lbs
质保期  ： 一年质保期，终身维护，相关耗材除外如炉管，密封圈等易耗件