三温区智能型等离子体化学沉积系统-安徽贝意克

三温区智能型等离子体化学沉积系统详细介绍：
此款智能型等离子体增强化学沉积系统的高温真空炉加热腔体采用进口氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于制备大面积高质量低成本二维层状半导体材料及其异质结。加热元件选用上下共16组电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
本设备集真空系统、气路系统、射频源、自动推进、加热炉于一体，并将所有控制集成于触屏操控界面之中，使设备更加智能化，便于使用者操作。增大了加热区的长度及温区数量,延长了炉管，使辉光长度达到了2000mm，同时保持很好的辉光均匀性。
【技术参数】

一、加热区参数

炉管尺寸：外径φ50*2000mm
炉管：高纯度石英管Φ25\50\60\80\100\150x2000mm  (管径可选)
加热元件:电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加热区长度：600mm（200+200+200mm）
恒温区长度: 400mm(100+200+100mm)
工作温度：1100℃
最高温度：1200℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
最大升降温速率：≤30℃/min
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；
尺寸约：2000×600×1500 mm（长、宽、高）
备注：可选配单温区、双温区、三温区等加热区。
气路系统参数： 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4”
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

二、低真空系统参数

国产油泵型号：BSV-10
抽速：10m³/h
极限真空度：5*10-1pa
电源：220v 50hz
电机功率：0.4kw
进排气连接口：KF25
用油量：1.1L
电机转速：1440rpm
工作环境温度：5-40℃
噪音：≤56db
电阻真空计参数：
1.配用规管：ZJ-52T电阻规，
2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa，
3.测量路数： 1路
4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa，
5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，
6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，
7.功耗： 20W

三、射频源主要参数

信号频率：13.56 MHz±0.005%
功率输出范围：0-500W
最大反射功率:100W
射频输出接口：50 Ω, N-type, female
功率稳定性：≤5W
谐波分量：≤-50dbc
供电电压：单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率：>=70%
功率因素：>=90%
冷却方式：强制风冷
备注：可根据腔体大小选择射频源功率。