微型PECVD系统-合肥科晶

微型PECVD系统详细介绍：
这款小型PECVD，其腔体为 3″ dia x 16″ L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
【等离子源】
等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
输出频率： 13.56 MHz
三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节）
腔体尺寸：3″OD x 2.7″ID x 16″ L
仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵）
【滑动法兰】
有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。
样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。
【加热圈和温控系统】
加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃
加热圈上套有一2″ ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失
温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC
输入电源： AC 220V
【两通道混气系统】
混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM
三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa,
混气箱上安装有304不锈钢针阀
配有三根1/4″的聚四氟乙烯管
混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4″x12″x7″).
净重: 14 lbs.
【真空和气体接口】
标准的真空配置有：
一套3″的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4″卡套接头和不锈钢针阀）
一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍
一个数字式真空显示计
等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。
可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处（注意：不可通入易燃易爆性气体）
【真空泵】
仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,
进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr
【移动架】
设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面
【仪器尺寸和重量】
等离子源： 8.5″ H x 10″ W x 8″ D
温控盒： 4″H x 10″W x 8″D
移动架：600 x 600 x 600mm
净重：70 lb (包含真空泵)